一种硅单晶热场智能节能调控系统及方法

本发明公开了一种硅单晶热场智能节能调控系统及方法，系统包括多物理场采集单元、热场仿真计算模块、梯度热绝缘组件、AI调控模块、反馈执行控制模块及能耗评估模块。系统通过实时采集炉内温度、流速、压力数据，构建耦合温度场/流场模型，利用AI算法生成动态控制策略，驱动加热器、冷却系统及可调石墨毡组件协同响应；梯度热绝缘组件通过轴向热导率递减设计适配热流分布，降低热损。方法包括数据采集、仿真建模、AI策略生成、执行控制、质量评估与模型修正步骤，形成闭环优化。本发明实现了热场分布的智能动态调控，显著提升晶体生长质量与能效，适用于半导体硅单晶制备领域。