一种晶圆级二维材料薄膜的制备装置

本发明涉及二维材料制备，特别涉及晶圆级二维材料薄膜的制备装置，包括基底装载运输设备、薄膜剥离机构、阶段式增压贴附机构和制备台；所述制备台上设有晶圆基底储存腔，所述制备台上设有生长反应室；所述基底装载运输设备用于将晶圆基底从晶圆基底储存腔内拾取，并将其放置在生长反应室；所述生长反应室用于制备二维材料薄膜，使二维材料薄膜沉积在晶圆基底上；所述制备台上设有薄膜转移；解决了二维材料薄膜转移中因机械应力集中导致的撕裂风险、胶带贴合压力不均引起的界面缺陷、传统夹持造成的晶圆基底损伤，以及人工操作效率低等问题，显著降低薄膜破损率，提升界面贴合均匀性与转移良率，实现晶圆级二维材料的高效无损制备。