一种测试接触头的控温装置

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一种测试接触头的控温装置
申请号:CN202510698333
申请日期:2025-05-28
公开号:CN120560383A
公开日期:2025-08-29
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种测试接触头的控温装置,涉及半导体芯片测试设备技术领域。其包括底座和若干测试端,测试端位于底座的底部,测试端用于安装芯片,底座上设有若干控温组件,若干控温组件与测试端一一对应,控温组件用于控制芯片的温度。本申请具有对芯片进行独立控温的效果。
技术关键词
控温装置 控温组件 致冷晶片 散热座 底座 加热片 半环 降温组件 控制芯片 驱动组件 齿轮 齿条 风道 冷却水 空腔 限位块 连线 轴套
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