一种气体配气仪及其配气方法

本发明提供了一种气体配气仪及其配气方法，所述气体配气仪包括一个用于接入稀释气的稀释气输入口、多个用于接入标准气的标准气输入口、一个用于输出配气的气体输出口、一个气体放空口、一个分配器和一个控制模块，稀释气输入口和至少一个标准气输入口分别通过一设有电控阀和流量计的输气管道与分配器相连接，气体输出口通过一个设有电控阀的输气管道与分配器相连接，气体放空口通过一个设有单向阀和电控阀的输气管道与分配器相连接，流量计用于控制气体流入所述分配器的流速，分配器用于将稀释气输入口和标准气输入口输入的气体进行混合并输出至气体输出口，分配器内设置有气压传感器。本发明的气体配气仪具有配气过程简单且重现性好的优点。