摘要
本申请属于传感器测试领域,具体公开了一种基于PLC的惯性MEMS测试系统及方法,系统包括:包括:当惯性MEMS传感器在运动控制单元的控制下处于多个正交位置提供角速度和/或加速度激励时,获取三轴加速度计和/或三轴陀螺仪输出数据,并分别拟合计算出所述三轴加速度计和/或三轴陀螺仪的轴间角偏差,确定对应的误差模型;当MEMS传感器在运动控制单元的控制下处于多个正交位置,且磁场控制单元提供不同强度的磁场激励时,获取MEMS传感器内三轴磁强计的输出信号,拟合三轴磁强计的轴间角偏差,确定误差模型;当气压控制单元提供不同的气压时,获取MEMS传感器内气压计的输出信号,拟合误差模型。通过本申请,实现对惯性MEMS传感器的全面性测试。
技术关键词
MEMS传感器
运动控制单元
误差模型
三轴磁强计
三轴加速度计
气压计
磁体线圈
数据分析模块
空气压缩机
测试方法
三轴陀螺仪
转台
偏差
真空泵