一种光波导检测系统以及检测方法

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一种光波导检测系统以及检测方法
申请号:CN202510702726
申请日期:2025-05-28
公开号:CN120668356A
公开日期:2025-09-19
类型:发明专利
摘要
本申请实施例提供了一种光波导检测系统以及检测方法。光波导检测系统包括:光源组件包括多轴机械臂和光源模块,多轴机械臂调整光源模块出光角度;待测样品组件包括承载组件、仿形工件和待测光波导,仿形工件标定待测光波导的设置参数;待测光波导设置于承载组件,光源模块出射的光线入射至待测光波导中形成彩虹纹;拍摄组件用于获取待测光波导接收不同出光角度的光线形成的彩虹纹图像;控制模块用于控制承载组件运动通过仿形工件以标定待测光波导的设置参数,以及控制模块用于控制光源组件以预设出光角度向待测光波导出射光线,获取拍摄组件拍摄得到的彩虹纹图像,以及根据不同的预设出光角度确定彩虹纹图像的参数。
技术关键词
承载组件 拍摄组件 多轴机械臂 光源组件 光源模块 光波导 工件 安装框架 支撑座 系统光轴 控制模块 二维位移平台 拍摄模块 图像 参数 镜头光阑 长度尺寸 校准 运动
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