高功率适用的环形阵列硅基光学相控阵芯片及优化方法

本发明公开了一种高功率适用的环形阵列硅基光学相控阵芯片及优化方法。本发明中，耦合光栅模块用于接收入射光束，级联分光模块用于将入射光束分为多路未调制探测光束，相位调制模块用于对每路未调制光束进行相位调制，生成相位调制后探测光束，二维天线环形阵列模块用于将所有相位调制后探测光束发射到芯片外部，高功率展宽波导用于作为光束传输通道；二维天线环形阵列模块采用轴对称结构，主要由至少一个共圆心的二维天线环形阵列沿径向从内向外间隔排布而成，每个二维天线环形阵列主要由多个沿圆周均匀排布的二维光栅天线组成。本发明芯片具有高连续波光功率承载能力、低非线性损耗和热量堆积。