摘要
本发明提供一种Micro OLED的喷墨方法,涉及Micro OLED的喷墨打印技术领域,包括喷墨单元与激光跟随单元,喷墨单元包括喷墨头、喷墨平台以及喷墨控制系统,激光跟随单元包括与喷墨头固定连接的第一非接触式传感器和固定于喷墨平台上的第二非接触式传感器、以及激光跟随控制系统,喷墨平台包括作业区与校正区,通过激光跟随动态校准和绘制图案传送至喷墨控制系统来控制喷墨头进行喷墨,有效解决了现有技术中喷墨头与晶圆目标喷墨区高度控制困难、胶量精度不足、胶水溢出或填充不全等问题。
技术关键词
非接触式传感器
喷墨方法
喷墨控制系统
喷墨单元
跟随控制系统
芯片
校正
控制喷墨头
激光
喷墨打印技术
图案
平台
校准
坐标
标记
动态
尺寸
晶圆
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设备加工过程
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成型表面
监测模块
铺粉装置
篦冷机
实时监测数据
风压
校验模块
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飞机客舱
管理方法
生理状态监测
设备状态监控
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智能生命体征监测
高灵敏度压力传感器
床系统
电脑终端
识别模块