一种半导体外延设备数据管理方法及系统

本发明公开了一种半导体外延设备数据管理方法及系统，方法包括获取外延设备的基础信息数据和实时运行数据，对所述基础信息数据和所述实时运行数据进行记录和管理；基于所述外延设备的历史运行数据，通过卷积神经网络融合长短时记忆网络的方法实现对故障的诊断预警，使用遗传算法实现电能优化的工作调度；展示外延设备的基础信息和运行状况，并伴随提示故障预警和调度工作优化信息。本发明采用卷积神经网络和长短时记忆网络融合的方法，可以有效实现对半导体外延设备故障的诊断与预警，采用遗传算法实现电能优化的工作调度安排，能够根据设备的运行特性和电力成本，智能地调整设备的运行时间，从而在保证生产效率的同时，显著降低综合电费。