摘要
本发明提供一种三维板级封装结构及其制造方法,所述芯片外漏塑封体的一端面上设有绝缘钝化层,所述绝缘钝化层设有贯穿的窗口,第一重布线层填充于所述窗口中并与芯片连接;所述互连组件包括:塑封前序结构的塑封层;贯穿塑封层的塑封通孔;填充塑封通孔并与前序重布线层连接的第二重布线层;通过重复堆叠所述互连组件,多层重布线层通过塑封通孔互连以实现超厚TMV盲孔互联;实现超厚盲孔的高可靠性互联,降低盲孔开孔和金属化难度,重复堆叠互连组件的模块化设计,规避TSV工艺的晶圆级加工步骤工艺,简化3D集成封装的流程,降低了制造成本。
技术关键词
板级封装结构
重布线层
无源器件
互连结构
芯片
绝缘
元器件
通孔
双面
塑封工艺
电镀工艺
金属化
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