一种振动辅助压印的大范围微纳结构阵列加工刀架及其使用方法

一种振动辅助压印的大范围微纳结构阵列加工刀架及其使用方法，属于刀架设计领域。所述刀架包括Z轴步进电机、支架、压电位移台、柔性铰链底座、预紧螺栓、PZT致动器一、PZT致动器二、刀具基座、压电传感单元、金刚石刀具；将两个PZT致动器对称安装在刀具基座的限位槽内，通过预紧螺栓将柔性铰链底座和刀具基座连接起来；压电传感单元上下安装垫片，固定于刀具基座上；金刚石刀具固定在压电传感单元前端；二维椭圆振动刀架通过螺栓固定在压电位移台上，支架将二维椭圆振动刀架和Z轴步进电机连接起来。压电位移台，移动范围可达100μm，能够以压电传感单元的力信号作为反馈，实现加工过程中的力反馈，实时控制加工深度，避免了精密调心的步骤。