用于应力测试的装置和方法

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推荐专利
用于应力测试的装置和方法
申请号:CN202510710878
申请日期:2025-05-29
公开号:CN120685232A
公开日期:2025-09-23
类型:发明专利
摘要
第一电压源耦合到测试晶体管的第一端子。探测电路的第一端子耦合到测试晶体管的第一端子。探测电路的第二端子耦合到测试晶体管的第二端子。探测电路的第三端子耦合到测试晶体管的控制端子。第一电阻器的第一端子耦合到测试晶体管的第二端子。第一电阻器的第二端子耦合到第二电压源。放大器的第一输入端子耦合到第三电压源。放大器的第二输入端子耦合到第一电阻器的第一端子。放大器的输出端子耦合到测试晶体管的控制端子。本申请的实施例还涉及用于应力测试的装置和方法。
技术关键词
测试晶体管 端子 电阻器 探测电路 电压 集成芯片 分压器电路 生成器电路 放大器配置 应力 时间段 晶圆 控制电路 电流 探针
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