晶圆测试机自动上货系统

本发明公开一种晶圆测试机自动上货系统，包括：自主移动机器人、MES执行系统、监控服务器、向量程序存储服务器、测试机以及晶舟盒存储仓，其中，自主移动机器人预加载包含晶舟盒存储仓和测试机物理坐标的电子地图；MES执行系统，预存储有若干产品信息；向量程序存储服务器，具有预存储有测试向量程序的存储器；测试机，与所述的向量程序存储服务器通信连接；监控服务器，分别与所述的自主移动机器人、MES执行系统以及测试机通信连接。本申请可以实现对晶圆测试机的实时监控，自动上货、下货，并自动完成产品信息比对，自动完成MES执行系统中测试机状态的转换，完全替代人工操作，实现全自动化生产的上货系统。