一种基于敏感性分析的光谱库优化方法及系统

本发明公开了一种基于敏感性分析的光谱库优化方法及系统，属于半导体光学测量领域，该优化方法包括：获取模拟光谱；基于模拟光谱对预设建库参数进行敏感度分析，获取每个建库参数的敏感性；获取每个建库参数的参数取值范围，并基于每个建库参数的敏感性及每个建库参数的参数取值范围，获取每个建库参数的划分权重；基于每个建库参数的划分权重计算每个建库参数的网格划分数量；根据每个建库参数的网格划分数量获取网格点，每个网格点对应一组几何参数，得到参数网；通过傅里叶模态法模拟参数网中每个网格点对应的几何参数，生成优化光谱库。该优化方法得到的光谱库样本分布均衡、偏差小，提高了神经网络模型的精度和稳定性。