一种基于红外偏折术的非球面检测装置及方法

本发明提供了一种基于红外偏折术的非球面检测装置及方法，属于光学检测技术领域。该基于红外偏折术的非球面检测装置，包括非球面反射镜，所述非球面反射镜曲率中心的两侧分别设置有红外狭缝光源与红外相机，所述红外相机电线连接有软件分析系统；所述红外相机采集的红外标定板的图像信息为第一信息，所述红外相机采集非球面反射镜的图像信息为第二信息；所述第一信息覆盖所述第二信息的部分为有效区域，对采集的有效区域图像信息进行处理，获得非球面的表面面型。实现非球面研磨阶段的粗糙表面测量，以及抛光阶段的抛光镜面测量；实现非球面的加工、检测的在位快速测量，避免反射镜在加工与检测过程中的损伤，减少测量时间，提高测量效率。