一种碳化硅电阻炉双发热体热场结构

本发明是一种碳化硅电阻炉双发热体热场结构，其结构是保温毡包裹在坩埚机构整体外侧，保温毡与坩埚机构外侧设有间隙，保温毡与坩埚机构外侧之间的间隙在坩埚机构靠近上端处内收并由接触坩埚机构外侧面的保温毡分割为上下两个加热腔室，保温毡内上下两个加热腔室的坩埚机构外侧分别设有上发热体和下发热体。通过热场保温毡形成两个加热腔室，可方便保证坩埚上下温度梯度恒定。本发明的优点：结构设计合理，相比现有技术单发热体加热模式存在的坩埚内温度梯度不稳定的问题，可保证坩埚上下温度梯度恒定，不受发热体、保温毡性能变化而改变；双发热体热场结构可减小机台之间热场长晶工艺控制差异和生长高质量晶体的难度。