摘要
本发明公开了一种球面光学镜头三维轮廓检测方法及系统,涉及光学精密检测技术领域,包括,向球面光学镜头发射探测激光束,通过动态调整探测激光束入射角度,采集穿透镀膜层的非线性光学特征信号和镀膜层反射的偏振光学特征信号;基于非线性光学特征信号通过曲率反演算法生成基底曲率空间分布数据,通过偏振特征解析技术提取镀膜层的厚度分布特征和基底表面光学响应特性;通过折射率补偿算法修正基底曲率空间分布数据,并加权融合镀膜层的厚度分布特征和基底表面光学响应特性,生成三维点云坐标集;本发明有效提升了基底曲率分布的重构精度;并实现了基底表面真实光学特性的解析。
技术关键词
轮廓检测方法
光学镜头
生成三维点云
镀膜
基底
分布特征
球面
非线性光学响应
激光束
反演算法
解析技术
面形偏差
补偿算法
缺陷分析
偏振光
坐标
信号
形态学图像处理