摘要
本发明属于探测器传函检测领域,具体涉及一种探测器传函快速高精度检测方法。该方法包括以下步骤:S1、探测器与多维调整机构连接;S2、探测器任意三点目标识别;S3、以目标为基准,调平后高度偏差满足设定偏差条件;S4、探测器与靶标平行校正;S5、平行偏差量满足设定偏差条件;S6、确定探测器清晰焦面位置;以镜头焦深为基准,设置相应步长并对探测器完成扫焦曲线建立。本发明能够提高探测器与检测镜头相对位姿的调整精度,降低安装不到位造成的传函检测精度不足问题;能够实现探测器焦面位置的高效标定,使实际检测值与真值结果更接近;能够避免对探测器表面易造成损伤。
技术关键词
高精度检测方法
探测器
三坐标测量仪
靶标
镜头
曲线算法
插座组件
光学平台
显微镜
位置偏差量
旋转轴
图像
转台
四杆机构
微光
照度计
基准
积分球