基于两不同光栅且相位间隔λ/2平面金属光栅激光器

本发明属于光电子器件技术领域，特别涉及基于两不同光栅且相位间隔λ/2平面金属光栅激光器，包括:增益芯片、增益芯片光波导、光栅光波导衬底、脊背光波导以及平面金属光栅。本发明采用独特的外腔结构，通过两个光栅常数相近且相位差λ/2的金属平面光栅取代传统夹层半导体光栅，利用平面金属光栅无需刻蚀、更加平整规整的优势，结合增益芯片与光栅光波导衬底“嘴对嘴”耦合对接方式，在平面金属光栅上方生长覆盖层，并在覆盖层上方镀高反射HR膜，有效提高了光栅反射效率，减少了光波导光能损失，同时，省去二次外延，简化了工艺，降低了成本。