摘要
本发明涉及激光器技术领域,尤其是基于两不同光栅常数且相位间隔λ/2金属光栅激光器,包括:增益芯片;光波导,设置在增益芯片的顶部居中;金属BRAGG反射光栅,设置在光波导的顶部,且金属BRAGG反射光栅包括金属BRAGG反射光栅一和金属BRAGG反射光栅二,金属BRAGG反射光栅一和金属BRAGG反射光栅二的光栅常数相近却不相同。本发明采用两个光栅常数相近且相位差λ/2的金属光栅取代传统夹层半导体光栅,优化了内腔结构,这一设计有效提高了光栅反射效率,省去二次外延,简化了工艺,降低了成本,显著提高了激光器光束的SMSR性能,压缩了线宽,提升了光束质量。
技术关键词
反射光栅
金属光栅
反射膜
光波导
多层结构
芯片
反射镜
量子阱结构
激光器技术
反射率
光束
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半导体
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