基于两不同光栅常数且相位间隔λ/2金属光栅激光器

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基于两不同光栅常数且相位间隔λ/2金属光栅激光器
申请号:CN202510720958
申请日期:2025-05-30
公开号:CN120657536A
公开日期:2025-09-16
类型:发明专利
摘要
本发明涉及激光器技术领域,尤其是基于两不同光栅常数且相位间隔λ/2金属光栅激光器,包括:增益芯片;光波导,设置在增益芯片的顶部居中;金属BRAGG反射光栅,设置在光波导的顶部,且金属BRAGG反射光栅包括金属BRAGG反射光栅一和金属BRAGG反射光栅二,金属BRAGG反射光栅一和金属BRAGG反射光栅二的光栅常数相近却不相同。本发明采用两个光栅常数相近且相位差λ/2的金属光栅取代传统夹层半导体光栅,优化了内腔结构,这一设计有效提高了光栅反射效率,省去二次外延,简化了工艺,降低了成本,显著提高了激光器光束的SMSR性能,压缩了线宽,提升了光束质量。
技术关键词
反射光栅 金属光栅 反射膜 光波导 多层结构 芯片 反射镜 量子阱结构 激光器技术 反射率 光束 周期 半导体 外延 波长 内腔
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