科研用全自动兼容多光刻技术及多样品尺寸的匀胶机台

本申请公开了科研用全自动兼容多光刻技术及多样品尺寸的匀胶机台，涉及半导体匀胶技术领域，其中，第一载片装置和第二载片装置用于装载不同尺寸的样品；匀胶装置和烘烤装置分别用于对样品进行匀胶和烘烤处理；中转装置设有适配第二样品尺寸的中转载具，用于承载第一样品；前处理装置用于样品前处理；第一移片装置用于运送样品，而第二移片装置用于运送样品和中转载具；移液装置与第一移片装置连接，用于滴涂光刻胶；吸附更换装置用于更换匀胶装置的吸附模块。该机台集成了标准片和碎片匀胶功能，能满足电子束光刻、激光直写光刻，步进式光刻，接触式光刻等光刻技术对于不同尺寸样品的匀胶需求，有效降低设备成本，减少空间占用，提高科研效率。