一种金刚石抛光过程中抛光液颗粒在线检测系统及方法

本发明涉及材料检测技术领域，具体为一种金刚石抛光过程中抛光液颗粒在线检测系统及方法，包括通过颗粒大小识别模型识别抛光液中颗粒的粒径信息；结合不同的光学激发条件对检测区域中颗粒进行动态激发；同步采集颗粒经过动态激发后产生的第一激发响应、第二激发响应和第三激发响应；设定第四激发条件对颗粒进行静态激发，并检测颗粒经过静态激发后产生的第四激发响应；将第一激发响应、第二激发响应、第三激发响应和第四激发响应进行组合，形成多模态颗粒特征向量；将多模态颗粒特征向量与预设金刚石模型进行匹配，识别出金刚石颗粒并区分非金刚石杂质颗粒，输出金刚石颗粒的浓度与粒径分布信息。