一种MEMS加速度计标度因数非线性批量补偿试验方法

本发明公开了一种MEMS加速度计标度因数非线性批量补偿试验方法，所述试验方法包括：建立加速度计非线性数学模型；设计加速度试验批量标定试验方法进行批量非线性标定试验；建立补偿参数模型，通过补偿试验数据计算非线性标定的各项参数；根据所述各项参数进行批量补偿验证试验；分析参数一致性，确认固定参数补偿可行性。可以提高MEMS加速度计组合大量程标度因数非线性，并提高批量试验效率。