SPAD光子探测效率仿真建模方法

本发明公开了一种SPAD光子探测效率仿真建模方法，包括：建立SPAD结构模型；设置入射光源；分别获取SPAD结构模型耗尽区内不同反向偏置电压下的量子效率和雪崩击穿概率，并计算SPAD光子探测效率；对比仿真结果和实验结果，对SPAD光子探测效率参数模型进行电学校准。本发明的建模方法可以得到不同偏置电压下SPAD的光子探测效率，同时获得器件内部物理参数，如电场分布和击穿概率等随偏压的变化趋势，建立光子探测效率演变依据的微观物理模型，为高性能SPAD设计提供理论支撑。