摘要
本申请提供了一种用于单晶炉的在线补钡方法、装置、电子设备及介质,有效地解决了传统的单晶炉的石英坩埚的无法在生产单晶硅时在线补钡,影响到对单晶硅的生产的问题。该方法包括:所述多种状态采集仪器实时检测石英坩埚的多种状态数据,并输入至所述工控机;所述工控机中基于预置的钡层损耗模型对所述多种状态数据进行计算,得到多个补钡计算结果,并评估所述多个补钡结算结果得到补钡需求结果;所述工控机基于所述补钡需求结果生成补钡指令,并发送所述补钡指令至所述补钡执行机构;所述补钡执行机构响应所述补钡指令,执行所述补钡方式以所述补钡速率在线补钡所述石英坩埚的目标补钡区域。
技术关键词
石英坩埚
执行机构
工控机
在线
机器可读指令
速率
损耗
数据
因子
电子设备
匹配模块
控制模块
PID算法
处理器
可读存储介质
单晶硅
存储器