摘要
本发明属于半导体封装技术领域,具体涉及一种半导体封装工艺,具体包括以下步骤:S1、根据产品的封装尺寸确定芯模尺寸并裁切芯模;S2、制备封装治具:将步骤S1制备的芯模固定放置在容器中,向容器中填充治具材料,放入烘箱中固化,待治具材料固化后,将芯模从封装治具中脱模,完成封装治具的制备;S3、将待封装产品放入下治具板,合模,置入真空箱中,从注胶孔处注胶;S4、注胶完成后进行胶水的固化;S5、脱模。本发明通过芯模制备封装治具,借助封装治具采用注胶工艺为玻璃基芯片的边缘涂覆胶水,从而保护玻璃基芯片,注胶工艺效率高,借助封装治具可以避免胶水溢胶的情况,胶水保型一致性强,满足半导体芯片保护使用要求。
技术关键词
半导体封装工艺
治具材料
光固化设备
液态硅橡胶
芯模
注胶工艺
紫外光固化型
半导体封装技术
烘箱
点胶机
环氧胶水
氟硅橡胶
排气孔
半导体芯片
保护玻璃
容器
固化灯
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