光学增益芯片、装置及制造方法

本发明提供一种光学增益芯片、装置及制造方法，包括依次叠置的底电极、衬底、限制层、有源层、波导层及顶电极，波导层经部分刻蚀形成脊波导，本发明不仅将脊波导设置为倾斜脊波导，而且还将脊波导的出光口围合在第一沟槽、第二沟槽和第三沟槽中，因此本发明可以使脊波导出射的光信号被反射后可以尽可能远离脊波导，避免二次耦合的现象出现。此外，本发明具有效果优良、结构简洁的优点。