摘要
本发明提供一种裸芯片的测试方法,包括步骤:提供一待测晶圆,切割待测晶圆,得到多个待测裸芯片,待测裸芯片正面设有电极焊盘,将固定胶水点胶于待测裸芯片背面的四角,提供一承载晶圆,在承载晶圆上设有标记直线,将多个待测裸芯片带有固定胶水的一面粘贴于承载晶圆上,多个待测裸芯片沿标记直线间隔排列,形成裸芯片测试结构,将裸芯片测试结构放置于ATE测试机的探针台上,调节探针卡以使探针卡上的探针与电极焊盘电连接,ATE测试机通过探针卡逐一对多个待测裸芯片进行CP测试。本发明的裸芯片的测试方法能够解决流片初期晶圆数量不足的问题,满足CP测试的需求。
技术关键词
裸芯片测试结构
测试方法
胶水
标记
探针卡
直线
测试机
存储器芯片
真空吸笔
晶圆
电极
焊盘
镊子
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