摘要
本发明公开了一种量子电压芯片的制冷装置以及量子电压芯片样品台的制备方法,涉及超导芯片领域,所述制冷装置,包括:量子电压芯片样品台、固态制冷单元、温度传感器阵列以及温控单元;量子电压芯片样品台,用于放置量子电压芯片;固态制冷单元,用于通过冷头对量子电压芯片样品台进行制冷,温度传感器整列用于监测所述量子电压芯片样品台从底部至所述接触面的实时温度,温控单元用于在确定第一温度等于预设的警戒温度阈值时,向固态制冷单元传输目标指令,以使第一温度维持在量子电压芯片工作所需的预设温度区间。因此本发明有效克服了当下量子电压标准系统难以在没有稳定液氦供应的环境中使用的缺陷。
技术关键词
温度传感器阵列
金刚石切削工具
样品台
制冷单元
电压
制冷装置
粗糙度
待测芯片
基底
固态
温控
接触面
纳米
固定装置
无氧铜
热传递
轮廓
指令
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