远程控制机台的方法、装置、电子设备和存储介质

本发明公开了一种远程控制机台的方法、装置、电子设备和存储介质，涉及半导体技术领域。方法包括：获取待处理配方数据模板，根据配方参数类型和/或配方人员对配方步骤的调整操作，处理待处理配方数据模板，得到目标配方数据模板；依据预设的网络地址，将目标配方数据模板保存到指定路径；通过预设的模板管理小工具，从指定路径读取目标配方数据模板，并对目标配方数据模板进行解析校验；在解析校验通过的情况下，根据解析后的目标配方数据模板生成满足机台要求的工艺配方文件；将工艺配方文件发送到机台对应的工控机，使得机台从工控机读取并执行工艺配方文件。采用本发明可实现对机台的远程控制，提高了机台控制效率。