半导体设备调度方法、装置、设备及存储介质

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及半导体设备调度方法、装置、设备及存储介质，所述方法包括：在基于晶圆加工任务信息构造的加工作业场景中，采用预选调度算法生成初始动作序列；根据预设重算机制和初始动作序列确认重算触发时间点；当到达重算触发时间点时，生成重算动作序列并与初始动作序列比较，得到重算一致性结果；基于重算一致性结果判断重算动作序列的可行性，通过则生成替换动作序列以替换初始动作序列，返回执行根据预设的重算机制和初始动作序列确认重算触发时间点；本申请公开的方法，通过重算机制调整重算过程，使调度算法可兼顾历史规划的复杂场景，提高所生成的动作序列的有效性和可靠性，且可大大降低重算时间，提高重算效率。