一种固晶机热误差预测方法、装置、存储介质及系统

本发明公开了一种固晶机热误差预测方法、装置、存储介质及系统，属于固晶机热误差预测技术领域，方法包括获取固晶机X轴上多个热误差测量点处的热误差，测量所述热误差时测得的固晶机上多个温度测量点处的温度，以及，固晶机上待预测位置与X轴起点的距离；基于所述温度和所述热误差的相关性，从所有温度测量点中筛选出各个热误差测量点对应的多个备选温度敏感点，从所有备选温度敏感点中筛选出最终的多个温度敏感点；将所述距离和多个温度敏感点处的温度输入到线性回归模型，计算待预测位置的热误差。本发明通过同时考虑温度和位置因素实现固晶机热误差的精确预测，通过温度敏感点的筛选提高预测精确度。