用于6G通信基站的超低功耗射频光子收发芯片及收发方法

本发明涉及一种用于6G通信基站的超低功耗射频光子收发芯片，属于微波技术和光电子技术领域，包括Si衬底、掩埋SiO2层和Si器件层；Si器件层上设有光电探测单元、电光相位调制单元、高频电阻、射频输入输出接口、光输入输出接口和电输入接口；光电探测单元用于将输入的光信号转换成射频信号，馈送到天线单元进行发射；电光相位调制单元用于根据天线单元接收的射频信号对输入光相位进行调制；高频电阻作为光电探测单元的匹配电阻，并作为电光相位调制单元的负载电阻；射频输入输出接口、光输入输出接口和电输入接口用于为光电探测单元、电光相位调制单元和高频电阻与射频信号、光信号或电信号的连接提供相应的接口通道。