一种近场光学显微镜光路聚焦定位方法

本申请属于光学聚焦技术领域，具体公开了一种近场光学显微镜光路聚焦定位方法，包括：基于激光波长和离轴抛物面镜数据，确定光路聚焦坐标的搜索空间和搜索所采用的步进步长；在光路聚焦坐标的搜索空间中确定初始解，在搜索空间中搜索到的解用于表征光路聚焦坐标；基于初始解、初始温度和降温速率，通过模拟退火算法进行迭代求解，在搜索空间搜索备选解，迭代求解过程中在当前解和新解之间按照步进步长获取新解，并从新解列表中筛选出备选解；在搜索到的备选解中，确定最优解。本申请通过合理的搜索空间确定、模拟退火算法的全局优化以及光强最大值的判断标准，能够在面对由镜面衍射造成的多峰值光强分布时，高效、稳定地获取到最优的光学聚焦点。