紫外高反射谐振腔准分子灯及其光子寿命增强方法

本发明提供紫外高反射谐振腔准分子灯及其光子寿命增强方法，涉及分子灯技术领域。该紫外高反射谐振腔准分子灯及其光子寿命增强方法，包括以下步骤：S1：基于紫外波段反射率理论模型，采用传输矩阵法，通过计算氮化铝与二氧化硅多层膜干涉效应，优化每层薄膜厚度及堆叠层数，生成高反射率参数集。通过紫外波段反射率理论模型结合传输矩阵法优化氮化铝与二氧化硅多层膜干涉效应，精准调控薄膜厚度与堆叠层数，提升谐振腔反射率，显著减少光子逃逸损失。基于反射率参数集成有限元热力耦合仿真与PID闭环控制算法，动态补偿谐振腔热变形，实现腔体尺寸纳米级稳定性，抑制热漂移导致的谐振失配。