摘要
本发明涉及硅基光子集成芯片技术领域,公开了一种分束器,包括定向耦合器和调控设备,定向耦合器的光波导上覆盖有相变材料,调控设备用于切换相变材料的相变状态,其中,相变材料的相变状态包括晶态、非晶态和若干种中间态,中间态为介于非晶态和晶态之间的状态。本发明通过改变定向耦合器的光波导上相变材料的相变状态,从而实现了分光比的动态调控。本发明还提供一种分束器动态调控分光比的方法,改变光波导上的相变材料的相变状态,利用晶态、非晶态和若干中间态,能得到三个或三个以上的分光比,并且在调控过程中,逐渐增加施加的外部刺激的程度,使分光比逐渐增加,实现分光比的动态连续调控。本发明具有更高的灵活性和适应性以及稳定性。
技术关键词
分束器
控制相变材料
调控设备
非晶态
光子集成芯片技术
光波导
波导定向耦合器
动态
参数
电控设备
功率
端口
热控