缺陷检测方法、装置、电子设备、存储介质及程序产品

本发明提供一种缺陷检测方法、装置、电子设备、存储介质及程序产品，方法包括：提供晶圆；获取包含所述晶圆的采样图像，所述采样图像是在所述晶圆被光线照射时得到的，且所述采样图像包含彩色区域和灰度区域，所述彩色区域为缺陷所在区域，且不同类型的缺陷具有不同的颜色，所述灰度区域为非缺陷区域；根据所述彩色区域，对所述采样图像进行提取处理，得到多个子图像，且一个子图像包含一种缺陷类型的彩色区域；将多个所述子图像输入至缺陷分类模型，确定各个子图像对应的缺陷类型；其中，所述缺陷分类模型的输入层包含多个输入通道，每个输入通道一一对应于一种缺陷类型的颜色。采用上述技术方案，能够提高缺陷类型的检测精度。