光刻胶消耗量预测方法及装置、存储介质、设备

一种光刻胶消耗量预测方法及装置、存储介质、设备。所述方法包括：获取晶圆在待预测时长内投片数量；利用预设多项式回归模型预测所述待预测时长内光刻胶消耗量，并输出预测结果；所述预设多项式回归模型的拟合优度大于线性回归模型。采用本发明的方案，可以提高光刻胶消耗量预测的准确性。