封装结构及其制造方法

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封装结构及其制造方法
申请号:CN202510767358
申请日期:2025-06-10
公开号:CN120749101A
公开日期:2025-10-03
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种封装结构及制造方法,封装结构包括:芯片区,包括多个功能芯片,功能芯片正面设置有第一导电凸块及第二导电凸块;中间连接区,沿第一方向设置在芯片区上,中间连接区包括中介层,中介层包括芯片互连中介结构,芯片互连中介结构具有非硅基底,非硅基底的热膨胀系数大于硅的热膨胀系数;对外连接区,沿第一方向设置在中间连接区上,并与中间连接区电连接;功能芯片的第一导电凸块通过中间连接区与对外连接区电连接,至少两个功能芯片的第二导电凸块通过中间连接区互连。非硅基底热膨胀系数与封装结构的其他材料的热膨胀系数更适配,能够避免或者降低封装翘曲和热应力的产生,提高产品的良率,提高产品的可靠性以及降低成本。
技术关键词
布线 封装结构 导电凸块 芯片互连 中介层 导电柱 转接板 蓝宝石基底 正面 介质 焊球 钻石 阵列 玻璃
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