一种涂布削薄区厚度控制方法、装置、设备及存储介质

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一种涂布削薄区厚度控制方法、装置、设备及存储介质
申请号:CN202510770007
申请日期:2025-06-10
公开号:CN120618801A
公开日期:2025-09-12
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种涂布削薄区厚度控制方法、装置、设备及存储介质。包括:采集目标涂布削薄区的实时削薄数据;基于厚度数据计算偏差值;根据偏差值确定超限判断结果,当超限判断结果为无超限时,计算厚度误差值的误差绝对值;判断误差绝对值是否大于预设误差阈值,若是,计算厚度误差值和传递函数的比值作为厚度调整量,基于厚度调整量进行滤波平滑输出;否则,保持当前状态。通过实时采集数据并在线辨识传递函数,可以快速适应工况变化,确保模型贴合实际。通过偏差值计算,精准反映整体与局部厚度偏差。通过超限判断结果进行厚度控制,实现异常快速响应与精准调整,缩短了调试时间、降低了人工成本,提升了生产效率和资源利用率。
技术关键词
厚度控制方法 偏差 数据 计算机存储介质 涂布 厚度控制装置 生成提示信息 判断误差 规划算法 有效性 电子设备 处理器通信 滤波 存储器 在线 控制模块 指令
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