工艺参数优化方法及相关设备

一种工艺参数优化方法及相关设备，所述方法，包括：获取输入工艺参数；经由预设的深度神经网络系统对输入工艺参数进行预测处理，获取电性参数预测结果；基于所述电性参数预测结果，获取相应的器件优良度得分；若所述器件优良度得分满足预设条件，则将所述输入工艺参数作为最佳工艺参数；反之，则基于所述相应的器件优良度得分对所述输入工艺参数进行优化，获取优化后的工艺参数作为所述输入工艺参数，并从经由预设的深度神经网络系统对输入工艺参数进行预测处理，获取电性参数预测结果的步骤重新开始执行，直至所述器件优良度得分满足预设条件。本发明实施例的技术方案，能够提高工艺参数优化的准确性和效率。