一种晶体生长炉的模型构建方法和电子设备

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一种晶体生长炉的模型构建方法和电子设备
申请号:CN202510772230
申请日期:2025-06-11
公开号:CN120296999B
公开日期:2025-08-19
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种晶体生长炉的模型构建方法和电子设备,涉及晶体生长技术领域,该方法包括:根据加热器,构建与加热器对应的第一三维图形;根据与加热器配合设置的电极以及加热器的第一中心轴线与电极的第二中心轴线之间的第一距离,构建与电极对应的第二三维图形;根据第一三维图形构建加热器对应的二维加热器模型,根据第二三维图形构建电极对应的二维电极模型;获取加热器的第一功率密度和电极的第二功率密度;将第一功率密度加载到二维加热器模型,将第二功率密度加载到二维电极模型;基于二维加热器模型和二维电极模型对晶体生长炉进行数值模拟。本发明实施例提高了对晶体生长炉进行数值模拟得到的模拟结果的准确性。
技术关键词
加热器 实心 内圆 模型构建方法 电极 晶体生长炉 尺寸 缝隙 环形 轴对称 晶体生长技术 电子设备 存储计算机程序 边缘轮廓 功率 数值 存储器 处理器 参数
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