激光刻蚀调节方法及系统

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激光刻蚀调节方法及系统
申请号:CN202510774531
申请日期:2025-06-11
公开号:CN120286870B
公开日期:2025-08-29
类型:发明专利
摘要
本申请公开了一种激光刻蚀调节方法及系统,该方法包括:获取加工件的模型数据并构建加工件的表面的法向矢量分布图,以划分加工件的加工区域;在每一加工区域中,根据加工区域的法向矢量数据,调整激光入射角度;根据激光入射角度、加工件的材料属性和加工深度要求,计算每一加工区域的功率参数调节值,以得到初步的功率分配方案。针对每一加工区域的激光入射角度和功率参数,生成控制指令序列并传输至激光加工系统。该方法能够实现动态调整激光入射角度和功率参数。
技术关键词
激光入射角度 生成控制指令 能量分布特征 功率 参数 序列 数据 主成分分析算法 支持向量机算法 偏差 加工件表面 扫描设备 滤波算法 调节系统 点云 模块 坐标
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