一种搬运机械手的控制方法

本发明公开了一种搬运机械手的控制方法，控制方法包括第一控制器向第二控制器和信号处理器发送搬运指令；第二控制器根据搬运指令控制机械臂移动并根据搬运指令控制对应的第一片叉拿取晶圆；第一检测部采集第一片叉是否拿取晶圆时的第一信号并将第一信号发送至信号处理器；信号处理器将第一信号与搬运指令比较以判断每个第一片叉是否存在搬运异常；当存在搬运异常的第一片叉时，信号处理器将搬运异常的第一片叉的信息传输到第一控制器，且第二控制器不再执行下一个接收到的搬运指令。本申请可快速定位搬运异常的片叉，便于故障排查。