一种玻璃钝化保护的TVS器件及其制备方法

本发明公开了一种玻璃钝化保护的TVS器件及其制备方法，涉及半导体器件制造技术领域，器件采用衬底层与两侧导电层构成的三明治结构，在导电类型相反一侧边缘设特殊沟槽，并构建氧化层、多层复合钝化层(SIPOS层、MTO层)、LTO层及玻璃层的防护体系。制备方法包含设置导电层、氧化、刻蚀沟槽、沉积钝化层、电泳沉积玻璃层、低温氧化形成LTO层等步骤。本发明提供P型双向对称、N型双相对称、P型单向非对称和N型单向非对称四种结构方案，通过电泳沉积工艺优化与多层复合保护层改进，有效提升TVS芯片可靠性与电性能，实现玻璃层均匀致密无气泡，漏电控制在0.1μA以下，击穿电压分别达20V以上(P型衬底)和36V以上(N型衬底)，同时降低生产成本、提高生产效率。