一种基于太赫兹片上光谱的芯片电路缺陷检测系统及方法

本发明提供了一种基于太赫兹片上光谱的芯片电路缺陷检测系统及方法，系统包括：激光器，用于产生飞秒激光；分光镜，用于将所述飞秒激光分束为发射光和接收光；发射端，用于所述发射光入射后产生太赫兹波，所述太赫兹波耦合传输至接收端；接收端，用于所述接收光入射，并基于所述接收光和所述太赫兹波产生电流信号；射频探针，用于将所述电流信号传输至待检测芯片。本发明基于发射端向接收端耦合传输的太赫兹波以在接收端产生用于检测的电流信号的方式，将传统的远场检测转变为近场检测，不仅能够显著地提高信噪比和传输效率，而且这种方式可以适用于更高频率的太赫兹波，有效地提高了检测的精度。