一种拉晶过程中自动测电阻率的方法

本发明公开了一种拉晶过程中自动测电阻率的方法，通过在拉晶炉水冷屏内设置激励线圈，通以交变电流产生磁场，利用晶棒的旋转和提升运动切割磁场生成涡流，测量线圈阻抗变化，结合公式计算电阻率。根据拉晶工艺中引晶、放肩、转肩和等径阶段的不同拉速，动态调整交变电流频率和采样率，优化涡流信号灵敏度。采用温度监测装置实时获取晶棒表面温度，结合第一性原理计算或分子动力学模拟，校正温度对电阻率的误差。机器学习算法基于历史掺杂数据库预测肩部电阻率。本方法实现拉晶过程的实时、精确电阻率测量，显著提高产品良率，减少电阻反切，适用于光伏和半导体单晶硅生产，为工艺优化提供高效、可靠的解决方案。