一种用于目检机的晶片表面光滑度检测方法及系统

本发明涉及图像数据处理技术领域，尤其涉及一种用于目检机的晶片表面光滑度检测方法及系统。方法包括：获取晶片表面图像的灰度图像；将灰度图像等分为若干个分块；确定分块的第一合格系数；获取分块内的边缘像素点；确定分块的第二合格系数；利用Naive层次聚类算法对灰度图像进行聚类，以识别灰度图像中的光滑区域，实现晶片表面的光滑度检测。本发明通过引入第一合格系数和第二合格系数，综合考虑了分块内的多个因素，能够更全面、细致地刻画分块的特征，从而有效区分不光滑区域和刻蚀纹理区域，减少了刻蚀纹理区域对不光滑区域判断的干扰，提高了聚类的准确性，从而更准确地识别不光滑区域，保证晶片表面光滑度检测的精度。