氧传感器芯片的可靠性检测方法、装置、设备及介质

本发明实施例公开一种氧传感器芯片的可靠性检测方法、装置、设备及介质，属于氧传感器技术领域。本发明实施例实质涉及一种区别于现有采用加热炉加热芯片并保温、取出芯片后快速水淬急冷形式的全新热震试验方法，通过滴水试验的方式可控选取滴水量、芯片滴水位置等，能够降低氧传感器芯片的可靠性检测结果受人为影响程度，提升检测的可重复性；同时，本发明实施例根据滴水试验结果可得氧传感器芯片的耐淋液量，该耐淋液量可量化表征氧传感器芯片的抗热震能力等可靠性指标，实现了氧传感器芯片的可靠性定量分析，试验准确度高。