原位视频分析的微观尺度材料热膨胀系数测量方法及系统

本发明属于热膨胀系数测量技术领域，涉及原位视频分析的微观尺度材料热膨胀系数测量方法及系统，包括：1、使用聚焦离子束从目标材料中任意位置提取微米级试样；2、用电子显微镜录制试样加热形变过程的动态视频；3、对动态视频进行逐帧图像处理，提取试样的长度、宽度和面积的像素数据；4、将像素数据转换为实际物理尺寸并记录温度‑时间数据，将视频帧与对应的温度值关联；5、基于温度‑形变曲线计算材料的热膨胀系数；本发明解决了现有热膨胀系数测量方法的操作复杂、准确性和通用性不足问题，尤其在针对微观尺度材料实现了更高的热膨胀系数测量精度和可靠性；能够满足现代芯片和微纳器件等领域对高精度、高通量材料测试的需求。